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单晶硅炉上下传动部件

晶体炉下传动部件1

产品分类:单晶硅炉上下传动部件
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坩埚在炉内有效行程 400mm
下 传 动 坩埚转速范围 1.0~20.0rpm


慢速:0.020~1.000mm/min

坩埚升速 快速:>100mm/min
动 态 精 度 埚升速度精度 <2%
埚转速度精度 <2%
埚升爬行 升速0.05mm/min时≤0.01mm
运行时坩埚杆顶端圆跳动 ≤0.02mm

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