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单晶硅炉上下传动部件

晶体炉上传动部件1

产品分类:单晶硅炉上下传动部件
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籽晶在炉内有效行程 2800mm
 上 传 动 籽晶转速范围 2.0~30.0rpm


慢速:0.20~8.00mm/min

籽晶拉速 快速:>500mm/min

晶升速度精度 <2%
动 态 精 度 晶转速度精度 <2%

晶升爬行 升速0.5mm/min≤0.01mm

籽晶摆动量 晶转高转速<2mm

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